ZMS (Zeolite molecular sieve)를 흡착체로 사용하는
산소발생기는 PSA(Pressure Swing Adsorption)/VPSA(Vacuum PSA)의 기본 원리를 이용하여 산소를 생산합니다.
일정 압력 하에 ZMS는 산소와 질소의 흡착양을 각기 다르게 지니게 되는데, 질소의 흡착양이 산소보다 훨씬 더 많습니다.
ZMS로 가득 차 있는 흡착탑에 압축공기를 통과시키면 질소는 ZMS 안에 갇히게 되고 산소만 추출되어 생산됩니다.