[PSA,질소발생기] + [Gas Purifier, 정제기] 로 구성됩니다.
일정 산소를 PSA기술로 1차 제거한 이후, 잔존하는 미세 산소를 수소를 투입하여 화학반응을 통해 2차 제거합니다.
이 두 공정을 거친 후 99.9999% 이상의 초고순도 질소가 생산됩니다.
PSA기술만으로 초고순도 질소를 생산하는 것에 대비하여, 보다 적은 전기료로 초고순도의 질소를 생산할 수 있습니다.